廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 Alcatel ATH1600M分子泵維修
Alcatel ATH1600M法國阿爾卡特磁懸浮分子泵維修,Alcatel ATH1600MT阿爾卡特分子泵進(jìn)氣法蘭口DN200ISO-K/DN200CF,出氣法蘭口DN40 ISO-KF,抽速可達到1400 L/s,極限壓力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,轉速為15000-39000rpm,阿迪克森ATH1600MT磁懸
真空泵維修中,一般會(huì )接到以下幾個(gè)故障案例:①會(huì )出現真空泵無(wú)法啟動(dòng);②真空泵達不到極限真空;③真空泵的抽速太慢;④真空泵工作中的溫度過(guò)高;⑤真空泵的噪音過(guò)大;⑥真空泵漏油。本文主要來(lái)詳細分析下真空泵無(wú)法啟動(dòng)這一個(gè)問(wèn)題,用過(guò)真空泵的用戶(hù)應該都會(huì )知道,使用真空泵的過(guò)程中,如果長(cháng)期未使用或者出現故障時(shí)都會(huì )導致真空泵無(wú)法正常啟動(dòng),例如,啟動(dòng)一下就會(huì )突然停下了,甚至都啟動(dòng)不了。Alcatel ATH1600M分子泵維修
真空泵機械選擇:
真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無(wú)油時(shí),應該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。Alcatel ATH1600M分子泵維修
真空泵排出來(lái)的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
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單級旋片式真空泵的真空度只能到達1*10-2托,不能到達再高的原因是:
1、泵的布局上存在“有害空間”,空間中的氣體是無(wú)法排除的。當旋片轉過(guò)排氣口后,這一有些氣體又被緊縮,經(jīng)過(guò)轉子與泵腔間的縫隙又回到吸氣空間,所以,“有害空間”越小,泵極限真空度越高。
2、泵腔被旋片分隔變成兩有些:排氣空間與吸氣空問(wèn),兩者間存在著(zhù)必定的壓強差。當排氣空間的氣體被緊縮得很小時(shí),壓弧很高,會(huì )經(jīng)過(guò)各種可能的路徑打破到吸氣空間去,使真空度下降。真空泵養護維修
3、泵油在泵體內循環(huán)活動(dòng)進(jìn)程中會(huì )溶解進(jìn)很多氣體和蒸氣。在吸氣空間,因為壓強較低,溶解的氣體又會(huì )跑出來(lái),使泵的真空度不易進(jìn)步。
為了提高泵的極限真空度,除了提高泵體、轉子、旋片的加工精度,盡量削減安裝空隙和有害空間以外,真空可以認為zui有用的辦法是將兩只單級泵串接起來(lái),組合成雙級泵。這樣,極限真空度將提高,可達10-4托(進(jìn)口真空泵可到達10-5托)。真空泵養護維修
渦輪分子泵主要由一個(gè)外殼與轉子和定子組成。旋轉圓盤(pán)和固定圓盤(pán)交叉排列,一個(gè)轉子盤(pán)和一個(gè)定子盤(pán)組成一個(gè)泵級。轉子轉動(dòng)得越快,抽吸效果就越顯著(zhù)?,F代泵的轉速已高達90 000 min-1,圓周速度為 400 m/s。而在1958年Willi Becker的自制樣機轉速就能達到142 m/s。真空泵養護維修
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磁懸浮分子泵是利用無(wú)摩擦磁懸浮原理實(shí)現長(cháng)期安全、ke靠、節能的實(shí)驗室和工業(yè)的穩定流量控制的一種新的分子泵技術(shù)。它是一種分子泵,可以輸送液體和氣體;它將電機、變頻器和線(xiàn)性滑動(dòng)馬達等相結合,實(shí)現壓力、流量調節,建立完整的閉環(huán)控制系統,從而有效控制和穩定流量。渦輪分子泵養護中心
其特點(diǎn)如下:
(1)不用任何潤滑油,可實(shí)現完全無(wú)油化。
(2)由于轉子與定子之間沒(méi)有機械接觸,軸承的壽命非常長(cháng)。
(3)與傳統軸承相比,轉子可運行到很高的轉速。
(4) 振動(dòng)與噪聲很低。
(5) 泵的安裝姿態(tài)不受限制,可任意角度安裝。
(6)轉子采用高強度鋁合金,一次高速銑削成形
(7)自平衡技術(shù)振動(dòng)ji小
相比普通分子泵,它的軸承不需要潤滑,所以可以排除油污染
由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對qing有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱(chēng)陰極濺射離子泵)對ya有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì )使真空裝置得到較好的真空度。渦輪分子泵養護中心
真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無(wú)油時(shí),應該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
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